"Entschuldige die Verspätung!" oder
"Entschuldigen Sie die Verspätung." oder
"Entschuldigung, dass ich erst jetzt antworte."
"Entschuldigung, dass ich erst jetzt auf deine (/Ihre) Nachricht antworte." oder
"Es tut mir leid, dass ich erst jetzt auf deine (/Ihre) Nachricht antworte(n kann)." oder
"Es tut mir leid, dass ich erst jetzt deine (/Ihre) Nachricht beantworte(n kann)."